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半導體行業的廢氣特征和廢氣治理如何做?

作者: 科盈環保 來源: 科盈環保 發布日期: 2022-10-08
信息摘要:
半導體是一種作為信息處理的元件材料。從科技或是經濟發展等各方面的角度來看,半導體都是比較重要的存在。但是由于半導體工藝對于操作間的要求較高,生產過程中也難免會產生

  半導體是一種作為信息處理的元件材料。從科技或是經濟發展等各方面的角度來看,半導體都是比較重要的存在。但是由于半導體工藝對于操作間的要求較高,生產過程中也難免會產生有機廢氣,那么半導體行業的廢氣特征和廢氣治理該如何做呢?

 

 
  首先半導體行業的廢氣排放具有排氣量大、排放濃度低的特點。產生的廢氣也屬于VOCs有機廢氣,廢氣會逸散在生產車間內。廢氣的主要成分來源如下圖:

RTO廢氣處理設備

 
 
  半導體工業中使用的清洗劑、顯影劑、光刻膠、蝕刻液等溶劑中含有大量的有機成分。在此過程中,這些有機溶劑大部分揮發到廢氣中。目前,焚燒這種處理凈化方式較為適用于這種氣體排放。
 
廢氣焚燒爐裝置

 
  焚燒爐也廣泛用于半導體工業,處理各種有機廢氣,并通過熱氧化將有機物質轉化為CO2和水。同時焚燒也是一種處理廢氣的好方法,有穩定的流量和濃度。在熱氧化中,有機廢氣流被加熱,氣相中的有機物被氧化。為了節省燃料的使用,通常使用熱交換器來回收焚燒產生的熱量,以預熱輸入的氣體。這種方法通常用于處理大流量、低濃度的氣體。

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